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等离子体系统专利技术

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1. 01804735.1 常压等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

2. 02131851.4 用于等离子体显示板的图像显示方法和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

3. 01136331.2 等离子体连续聚合处理装置气体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

4. 01136322.3 利用等离子体的连续聚合系统的门开关装置查看技术配方、加工工艺、附图等

5. 02147086.3 等离子体显示装置发光装置及影像显示系统查看技术配方、加工工艺、附图等

6. 01139911.2 利用等离子体连续聚合系统的喷镀装置查看技术配方、加工工艺、附图等

7. 00818236.1 等离子体加工系统及其方法查看技术配方、加工工艺、附图等

8. 01807672.6 在感应耦合等离子体腐蚀系统中有效地控制查看技术配方、加工工艺、附图等

9. 00818382.1 具有动态气体分布控制的等离子体加工系统查看技术配方、加工工艺、附图等

10. 00818406.2 等离子体加工装置的温度控制系统查看技术配方、加工工艺、附图等

11. 01804421.2 等离子体加工系统和方法查看技术配方、加工工艺、附图等

12. 02123440.X 等离子体化学气相法批量生产氮化硅粉体转查看技术配方、加工工艺、附图等

13. 01805898.1 应用于等离子体加工系统中的线性驱动系统查看技术配方、加工工艺、附图等

14. 01809396.5 调整等离子体加工系统中电极厚度的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

15. 02140018.0 等离子体显示屏的图像显示方法和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

16. 99811613.0 等离子体处理系统中腐蚀终点的确定方法和查看技术配方、加工工艺、附图等

17. 03110796.6 射频等离子体处理方法和射频等离子体处理查看技术配方、加工工艺、附图等

18. 03147877.8 蛋白质微阵列表面等离子体共振成像检测系查看技术配方、加工工艺、附图等

19. 03136767.4 用于等离子体显示板的烘焙系统及该系统的查看技术配方、加工工艺、附图等

20. 96110203.9 基于稀土磷酸盐的化合物用作等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

21. 88108991.5 等离子体收缩系统及其使用方法查看技术配方、加工工艺、附图等

22. 95119346.5 等离子体显示系统查看技术配方、加工工艺、附图等

23. 96192788.7 废物处理和资源再生用的可调节自供能量的查看技术配方、加工工艺、附图等

24. 97122749.7 等离子体显示器等离子体显示板的驱动装置查看技术配方、加工工艺、附图等

25. 97120685.6 脉冲极板等离子体植入系统查看技术配方、加工工艺、附图等

26. 96196235.6 利用等离子体处理大面积衬底基片的系统查看技术配方、加工工艺、附图等

27. 98102495.5 等离子体寻址显示系统查看技术配方、加工工艺、附图等

28. 96194041.7 等离子体蚀刻系统查看技术配方、加工工艺、附图等

29. 98123402.X 用于等离子体工艺的工艺检测系统查看技术配方、加工工艺、附图等

30. 98120993.9 用作屏幕的等离子体平板中的消气系统查看技术配方、加工工艺、附图等

31. 98108047.2 等离子体系统与操作等离子体系统的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

32. 98809275.1 用于监视和控制气体等离子体处理的系统和查看技术配方、加工工艺、附图等

33. 98809274.3 检测并防止等离子体系统中电弧放电的装置查看技术配方、加工工艺、附图等

34. 98811135.7 含铥的磷酸镧作为等离子体或射线系统中荧查看技术配方、加工工艺、附图等

35. 00800061.1 等离子体处理系统和方法查看技术配方、加工工艺、附图等

36. 99811821.4 含有两种掺杂剂的镧镥钇或钆的硼酸盐及其查看技术配方、加工工艺、附图等

37. 99810350.0 等离子体增强的真空汽相淀积系统包括使固查看技术配方、加工工艺、附图等

38. 00809597.3 等离子体处理系统和设备及用于输送射频功查看技术配方、加工工艺、附图等

39. 00810626.6 利用包含等离子体的开式谐振腔谐振频率的查看技术配方、加工工艺、附图等

40. 00810563.4 使用等离子体诱导微波振荡器频率变化的电查看技术配方、加工工艺、附图等

41. 00810564.2 使用锁定到包含等离子体的开式谐振腔的微查看技术配方、加工工艺、附图等

42. 01101424.5 电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化查看技术配方、加工工艺、附图等

43. 02103558.X 自适应等离子体表征系统查看技术配方、加工工艺、附图等

44. 02115200.4 等离子体对族化合物的干法刻蚀系统及刻蚀查看技术配方、加工工艺、附图等

45. 200610153707.1 处理系统及其等离子体产生装置查看技术配方、加工工艺、附图等

46. 200680009167.8 等离子体增强原子层沉积系统和方法查看技术配方、加工工艺、附图等

47. 200680009127.3 等离子体增强原子层沉积系统和方法查看技术配方、加工工艺、附图等

48. 200610116841.4 用于产生等离子体的系统查看技术配方、加工工艺、附图等

49. 200680011123.9 等离子体处理方法和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

50. 200710129977.3 用于等离子体反应器系统的工件旋转装置查看技术配方、加工工艺、附图等

51. 200680010522.3 用于维护具有机器人的等离子体处理系统的查看技术配方、加工工艺、附图等

52. 200580031980.0 用于改善表面波等离子体源和等离子体空间查看技术配方、加工工艺、附图等

53. 200680007428.2 等离子体发电系统查看技术配方、加工工艺、附图等

54. 200680020424.8 使等离子体生成的离子偏转以防止离子到达查看技术配方、加工工艺、附图等

55. 200710198723.7 用于等离子体处理塑料组件的系统查看技术配方、加工工艺、附图等

56. 200680020615.4 分析半导体等离子体生成系统中的功率通量查看技术配方、加工工艺、附图等

57. 200610171761.9 等离子体重组器以及具有此等离子体重组器查看技术配方、加工工艺、附图等

58. 200680026277.5 保护在适于在等离子体处理系统中使用的基查看技术配方、加工工艺、附图等

59. 200680030403.4 用于空白薄膜的电弧检测和避免的非侵入性查看技术配方、加工工艺、附图等

60. 200680014982.3 含有气体供应的等离子体光谱学系统查看技术配方、加工工艺、附图等

61. 200680010072.8 等离子体处理系统中确定清洁或调节处理终查看技术配方、加工工艺、附图等

62. 01279706.5 电感耦合等离子体质谱进样系统装置查看技术配方、加工工艺、附图等

63. 200720036015.9 金属网板型等离子体显示平板显示驱动系统查看技术配方、加工工艺、附图等

64. 200720052896.3 等离子体处理设备中送气系统的改进结构查看技术配方、加工工艺、附图等

65. 200410021192.0 丝普纶及化纤常压辉光放电等离子体改性研查看技术配方、加工工艺、附图等

66. 02802026.X 感性耦合的等离子体处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

67. 200410001806.9 等离子体电灯系统和用于其上的灯泡查看技术配方、加工工艺、附图等

68. 200410041523.7 检测单核苷酸多态性的光纤表面等离子体波查看技术配方、加工工艺、附图等

69. 200310111902.4 用等离子体环境消毒空气的方法和产生等离查看技术配方、加工工艺、附图等

70. 200410092288.6 表面波激发等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

71. 200510006108.2 等离子体化学气相沉积系统及涂覆衬底两侧查看技术配方、加工工艺、附图等

72. 03811356.2 利用射频发生系统的反馈控制的负电等离子查看技术配方、加工工艺、附图等

73. 03815275.4 用于在等离子体加工系统中电弧抑制的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

74. 03817980.6 等离子体处理系统中的整合阶梯式统计过程查看技术配方、加工工艺、附图等

75. 03821971.9 用于从等离子体工艺中分析数据的方法和系查看技术配方、加工工艺、附图等

76. 03822079.2 用于等离子体工艺系统中的改进的挡板的方查看技术配方、加工工艺、附图等

77. 03822080.6 用于等离子体工艺系统中的光学窗口淀积屏查看技术配方、加工工艺、附图等

78. 03822206.X 用于等离子体处理系统中的改进的折流板的查看技术配方、加工工艺、附图等

79. 03822376.7 用于等离子体加工系统中的改进的波纹管罩查看技术配方、加工工艺、附图等

80. 200510059838.9 用于创建等离子体处理系统的数学模型的方查看技术配方、加工工艺、附图等

81. 200510058853.1 用于检查等离子体处理系统中接触孔的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

82. 03823324.X 采用具有等离子体处理系统的光学系统的装查看技术配方、加工工艺、附图等

83. 03158646.5 用于等离子体显示板的视频编码方法和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

84. 02129132.2 等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置查看技术配方、加工工艺、附图等

85. 02145762.X 常压射频冷等离子体系统及其喷枪查看技术配方、加工工艺、附图等

86. 03147063.7 调节等离子体显示装置内被加热的气流的无查看技术配方、加工工艺、附图等

87. 03147511.6 等离子体照明系统的冷却设备查看技术配方、加工工艺、附图等

88. 02810131.6 基于圆筒的等离子体处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

89. 200310118192.8 等离子体发生系统查看技术配方、加工工艺、附图等

90. 03104730.0 常压射频和直流混合型冷等离子体系统及其查看技术配方、加工工艺、附图等

91. 01816862.0 利用等离子体处理室中的单频率功率处理晶查看技术配方、加工工艺、附图等

92. 02816257.9 等离子体反应器线圈磁体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

93. 200480017294.3 离子注入系统中用于等离子体发生的薄磁控查看技术配方、加工工艺、附图等

94. 200610003273.7 具有侧壁磁体的感应等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

95. 200380103544.0 等离子体加工系统和方法查看技术配方、加工工艺、附图等

96. 200380104648.3 在材料处理系统中监视等离子体的方法和装查看技术配方、加工工艺、附图等

97. 200510030008.3 直流辉光等离子体化学气相沉积氧化锌薄膜查看技术配方、加工工艺、附图等

98. 200480004183.9 多级等离子体发生器危险废物处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

99. 200510108184.4 角度扫描表面等离子体共振测量系统查看技术配方、加工工艺、附图等

100. 200480009423.4 在等离子体加工系统中蚀刻时减少光致抗蚀查看技术配方、加工工艺、附图等

101. 200510131459.6 用于等离子体显示板的图像显示方法和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

102. 200510117375.7 等离子体促使调节和改善临界尺寸均匀性的查看技术配方、加工工艺、附图等

103. 200480015474.8 紫外和等离子体辅助金属有机化学气相沉积查看技术配方、加工工艺、附图等

104. 200480015891.2 用于膨胀热等离子体的电感耦合的系统和方查看技术配方、加工工艺、附图等

105. 200610043602.0 等离子体灭菌装置过氧化氢加注系统查看技术配方、加工工艺、附图等

106. 200480022057.6 制造真空等离子体处理过的工件的方法和真查看技术配方、加工工艺、附图等

107. 200480023784.4 在溅射处理系统中的等离子体转换的控制查看技术配方、加工工艺、附图等

108. 200510126268.0 等离子体反应室温控系统在线故障检测装置查看技术配方、加工工艺、附图等

109. 200510126338.2 一种等离子体反应室控制系统组装箱查看技术配方、加工工艺、附图等

110. 200510121692.6 等离子体激发系统查看技术配方、加工工艺、附图等

111. 200480031575.4 具有局部有效电感等离子体耦合的等离子体查看技术配方、加工工艺、附图等

112. 200480032426.X 用于优化等离子体处理系统中的基板的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

113. 200510092470.6 等离子体显示面板和使用了该面板的图像显查看技术配方、加工工艺、附图等

114. 200510087625.7 多腔等离子体处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

115. 200610151339.7 具有可互换电极系统的等离子体焰炬查看技术配方、加工工艺、附图等

116. 200480037309.2 用等离子体振子辅助化学反应形成材料膜的查看技术配方、加工工艺、附图等

117. 200480037903.1 等离子体喷射器排气净化系统及还原剂喷射查看技术配方、加工工艺、附图等

118. 200480037347.8 用于对一等离子体处理系统进行工具匹配及查看技术配方、加工工艺、附图等

119. 200610200529.3 射频感性耦合等离子体源的平面法拉第屏蔽查看技术配方、加工工艺、附图等

120. 200480033742.9 用于在等离子体处理系统中清洁包括钇氧化查看技术配方、加工工艺、附图等

121. 200610096456.8 等离子体显示装置的更新系统及方法查看技术配方、加工工艺、附图等

122. 200510108822.2 等离子体制程稳定系统查看技术配方、加工工艺、附图等

123. 200480042882.2 气旋性等离子体高温分解玻璃化系统查看技术配方、加工工艺、附图等

124. 200580013389.2 等离子体加工系统的多片挡板组件查看技术配方、加工工艺、附图等

125. 200480040955.4 等离子体处理系统中的选择性控制查看技术配方、加工工艺、附图等

126. 200610141520.X 在等离子体处理系统中处理不同宽度基片的查看技术配方、加工工艺、附图等

127. 200610142961.1 等离子体照明系统及其驱动控制方法查看技术配方、加工工艺、附图等

128. 200610144279.6 表面等离子体共振生化多通道外差相位检测查看技术配方、加工工艺、附图等

129. 200480009880.3 用于等离子体约束的系统和方法查看技术配方、加工工艺、附图等

130. 200580020329.3 等离子体离子注入系统的原位处理室制备方查看技术配方、加工工艺、附图等

131. 200580021855.1用于差错检测和工艺控制的等离子体离子注入监视系统132200610130646.7 基于表面等离子体共振乳制品中抗生素的检查看技术配方、加工工艺、附图等

132. 200580008542.2 等离子体处理系统中优化基片蚀刻的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

133. 200580027088.5 等离子体处理系统中最佳温度控制的方法和查看技术配方、加工工艺、附图等

134. 200580027667.X 用于在等离子体处理系统中确定端点的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

135. 200580027487.1 用等离子体处理改进包含高层的栅极电介质查看技术配方、加工工艺、附图等

136. 200580030305.6 用于最优化等离子体处理系统中的大气等离查看技术配方、加工工艺、附图等

137. 200580031574.4 表面波等离子体处理系统和使用方法查看技术配方、加工工艺、附图等

138. 200580032890.3 用于处理衬底的等离子体处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

139. 200710098527.2 线状光束扫描表面等离子体共振成像光强检查看技术配方、加工工艺、附图等

140. 200580036961.7 等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

141. 200580037079.4 等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

142. 200580039694.9 用于等离子体处理系统的计算机执行的数据查看技术配方、加工工艺、附图等

143. 200710021289.5 金属网板型等离子体显示平板显示驱动方法查看技术配方、加工工艺、附图等

144. 200580040567.0 用于等离子体处理系统中控制多区喷嘴的耐查看技术配方、加工工艺、附图等

145. 200580039762.1 测量自偏压来监控等离子体处理系统中处理查看技术配方、加工工艺、附图等

146. 200580039761.7 通过测量阻抗监控等离子体处理系统中处理查看技术配方、加工工艺、附图等

147. 200580039838.0 测量等离子体频率监控等离子体处理系统中查看技术配方、加工工艺、附图等

148. 200580047453.9 具有轴向静电约束的等离子体离子注入系统查看技术配方、加工工艺、附图等

149. 200610108350.5 等离子体刻蚀系统查看技术配方、加工工艺、附图等

150. 200380106661.2 通过反应室等离子体反应器系统利用蒸发冷查看技术配方、加工工艺、附图等

151. 200580027666.5 在等离子体处理系统中优化抗蚀能力的方法查看技术配方、加工工艺、附图等

152. 200710090032.5 相对密闭的等离子体处理纺织面料系统查看技术配方、加工工艺、附图等

153. 200580051757.2 等离子体显示面板等的面板制造系统查看技术配方、加工工艺、附图等

154. 200710039453.5 射频功率源系统及使用该射频功率源系统的查看技术配方、加工工艺、附图等

155. 200680041081.3 通过向不对称电容器引入受控等离子体环境查看技术配方、加工工艺、附图等

156. 200580039837.6 用于等离子体处理系统的接地开关查看技术配方、加工工艺、附图等

157. 200680043894.6 通过在气体介质中产生受控等离子体环境来查看技术配方、加工工艺、附图等

158. 200580052258.5 用于去除表面层而不损失基片的中等压力等查看技术配方、加工工艺、附图等

159. 200810041928.9 低温等离子体预氧化辅助3净化柴油机的系查看技术配方、加工工艺、附图等

160. 200810024372.2 等离子体显示器的实验测试系统查看技术配方、加工工艺、附图等

161. 200780001193.0 等离子体反应的装置以及使用该装置还原废查看技术配方、加工工艺、附图等

162. 200680051423.X 亚微米表面等离子体激元谐振传感器系统查看技术配方、加工工艺、附图等

163. 200680051225.3 工件处理系统和等离子体产生装置查看技术配方、加工工艺、附图等

164. 200780008358.7 使用低能量等离子体系统制造高介电常数晶查看技术配方、加工工艺、附图等

165. 200810225177.6 等离子体处理系统及其冷却装置冷却方法查看技术配方、加工工艺、附图等

166. 200780011115.9 微波等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

167. 200710181613.X 等离子体辅助薄膜沉积系统与方法查看技术配方、加工工艺、附图等

168. 200680054212.1 等离子体发光系统以及使用该等离子体发光查看技术配方、加工工艺、附图等

169. 200580047552.7 用于减少等离子体处理系统中的副产品沉积查看技术配方、加工工艺、附图等

170. 200580016880.0 用于通过将受控等离子体环境引入到非对称查看技术配方、加工工艺、附图等

171. 200810185706.4 烧蚀性等离子体枪装置和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

172. 200780023348.0 干式非等离子体处理系统和使用方法查看技术配方、加工工艺、附图等

173. 200910076283.7 基于表面等离子体共振传感的细胞分层检测查看技术配方、加工工艺、附图等

174. 200910076182.X 等离子体裂解反应器清焦系统及方法查看技术配方、加工工艺、附图等

175. 200780025076.8 等离子体异常放电诊断方法等离子体异常放查看技术配方、加工工艺、附图等

176. 200780034098.0 用于管理供应到等离子体腔室的电力的系统查看技术配方、加工工艺、附图等

177. 200780024497.9 使用等离子体炬热的气体重整系统查看技术配方、加工工艺、附图等

178. 200910082582.1 等离子体射流对空气引射量的测量系统查看技术配方、加工工艺、附图等

179. 200910058641.1 一种基于大气压辉光的低温等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

180. 200680051358.0 进行等离子体增强原子层沉积的方法和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

181. 200680025770.5 用于校验从气体供应系统进入等离子体处理查看技术配方、加工工艺、附图等

182. 200910141105.8 具有被限制的处理室的多电极等离子体处理查看技术配方、加工工艺、附图等

183. 200780043781.0 等离子体设备和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

184. 200780043771.7 等离子体设备和系统查看技术配方、加工工艺、附图等

185. 200880008115.8 用于蚀刻半导体结构的具有脉冲样品偏压的查看技术配方、加工工艺、附图等

186. 200880008256.X 具有改善的处理能力的新颖等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

187. 200880008116.2 用于蚀刻半导体结构的具有脉冲反应气体补查看技术配方、加工工艺、附图等

188. 200810117297.4 一种反应腔室及具有该反应腔室的等离子体查看技术配方、加工工艺、附图等

189. 200810119578.3 用于叶栅内流的等离子体激励控制系统及控查看技术配方、加工工艺、附图等

190. 200780046624.5 采用等离子体系统生产内燃机燃料的方法及查看技术配方、加工工艺、附图等

191. 200880006502.8 使用微波辅助的催化剂上甲烷等离子体分解查看技术配方、加工工艺、附图等

192. 200780046607.1 采用等离子体系统生产分子氢的方法及系统查看技术配方、加工工艺、附图等

193. 200910185135.9 磁约束等离子体推进器高温超导磁体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

194. 200880019551.5 水下等离子体处理设备和利用其处理船只压查看技术配方、加工工艺、附图等

195. 200910310637.X 基于脉冲放电等离子体技术的生物细胞破壁查看技术配方、加工工艺、附图等

196. 200910310639.9 基于激光等离子体技术的生物细胞破壁系统查看技术配方、加工工艺、附图等

197. 03243100.7 牙科综合诊台水系统低温等离子体净化消毒查看技术配方、加工工艺、附图等

198. 03232693.9 电磁场约束电感耦合等离子体增强气相沉积查看技术配方、加工工艺、附图等

199. 200620083218.9 等离子体灭菌装置过氧化氢加注系统查看技术配方、加工工艺、附图等

200. 200620016835.7 过氧化氢等离子体和环氧乙烷两用低温灭菌查看技术配方、加工工艺、附图等

201. 200620069301.0 气化等离子体无害化废物处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

202. 200620069302.5 焚烧等离子体无害化废物处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

203. 200820036385.7 等离子体显示器的实验测试系统查看技术配方、加工工艺、附图等

204. 200820178012.3 玻璃钢真空容器等离子体试验系统查看技术配方、加工工艺、附图等

205. 200790000069.8 等离子体处理系统查看技术配方、加工工艺、附图等

206. 200920108533.6 大面积平板常压射频冷等离子体系统查看技术配方、加工工艺、附图等

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